真空吸附样品台

真空吸附，不用控温带微孔的样品台，带气路、气泵（放QE主机箱外以避免震动），主机箱panel设气路穿墙孔。导电铜，带多探针的样品平台，面积大于6x6英寸，可用于QE，也可用于模拟器。

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真空吸附，不用控温

带微孔的样品台，带气路、气泵（放QE主机箱外以避免震动），主机箱panel设气路穿墙孔。

导电铜，带多探针的样品平台，面积大于6x6英寸，可用于QE，也可用于模拟器。